1 范围 本标准规定了电子级水的级别、要求、试验方法和检验规则. 本标准适用于电子元器件生产和清洗用水． 2 引用标准 下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用丽构成为本标准的条文．本标准出版时，所示版本均为有效．所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准新版本的可能性． gb/t 11446.3——1997 电子级水测试方法通则 gb/t 11446.4——l997 电子级水电阻率的测试方法 gb/t 11446.5——1997 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法 gb/t 11446.6——1997 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法 gb/t 11446.7——1997 电子级水中痕量离子、根离子、根离子、酸根离子的离子色谱测试方法 gb/t 11446.8——1997 电子级水中总有机碳的测试方法 gb/t 11446.9——1997 电子级水中微粒的仪器测试方法 gb/t 11446.10——1997 电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法 3 定义 本标准采用下列定义． 3.1电子级水electronic grade water 制造电子元器件工艺过程中所用的高纯水． 3.2电阻率resistivity 在规定温度下,1 cm2水溶液两相对面之间测得的电阻值．通常用符号p表示，单位为ω﹒cm，纯水的理论电阻率为18.3 mω﹒cm (25℃)． 3.3全硅total silicon 水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量． 3.4可溶性硅soluble silicon 以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐． 3.5微粒性物质granular matter 除气体以外，以非液态分散在水中，并形成非均相混合物的物质． 3.6总有机碳(toc) total organic carbon 水中以各种有机物形式存在的碳的总量．包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化的有机物。 3.7吸附absorption 某些多孔性粒状物质由于表面活性作用而具有吸着某些物质的能力。 3.8凝聚coagulation 在源水中加入某种电解质后，水中带有电荷的胶体微粒被电解质中的异种电荷中和，从而使其聚集成较大颗粒而沉降的现象。 3.9絮凝flocculation 水中的微粒在一定条件下相互碰撞而集结为絮状沉淀的现象。絮凝一般是在凝聚作用后缓慢进行，可除去水中更细的微粒。 3.10砂滤器sand filter 用于盛放不同直径的砂粒，以除去源水中悬浮固体和混浊物的装置。 3.11 活性碳过滤器activated carbon filter 装有粒状活性碳的过滤器，用于除去水中的可溶性有机物和过量的残余。 3.12离子交换ion exchange 一种不溶性物质与一种液体之间相互交换离子的可逆过程，该过程中物质并无实质性结构变化． 3.13去离子水deionized water 经过离子交换处理，除去了呈离子形式的杂质的高纯水。 3. 14再生regeneration 离子交换过程操作循环中的一部分。在该部分中，用一定量的化学试剂通过离子交换树脂使其恢复交换能力。 *复合床complex bed 将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂分别装入两个离子交换柱中，将两柱串联，使水依次通过两个柱而被纯化，复合床处理水的纯度虽不及混合床，但操作较简单。 3.16混合床mixed bed 将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂混合均匀，填充于同一离子交换柱中，其纯化效果相当于许多组合床串联使用，出水质量好但再生比较麻烦． 3.17电渗析electrodialysia 一种分离水中离子的方法。在电渗析器中，阴阳两极之间用交替排列的阴、阳离子交换膜分隔成一系列小室，水流通过小室时，在直流电场作用下，水中阳离子向阴极方向移动，但不能通过阳膜；阴离子则相反．这样就形成相间存在的浓、淡水室而达到提纯水的目的。 3.18反渗透reverse osmosis 亦称逆向渗透。一种利用渗透原理进行分离的方法。用半透膜将浓水和淡水隔开，并在浓水上施加比渗透压更强的机械压力，则浓水中大部分水透过半透膜而杂质仍留在其中，达到分离提纯的目的． 3.19反渗透膜reverse osmosis membrane 用于反渗透法制备纯水的一种合成薄膜，其孔径一般为0. 02 μm或更小，可用于除去无机离子、有机物、细菌等，使水纯化。 3. 20微孔膜滤器membrane filter 一种平均孔径（直径）大于0. olμm的薄膜，能把大于平均孔径的微粒截留在其表面或附近。 3.21超过滤uhrafihration 一种过滤方法，在一定压力下使水流通过超滤膜以除去水中的极细微粒、胶体和细菌等． 3.22终端terminal 高纯水生产流程中经过各道净化工艺后，水的出口或使用地点。 4 分类 4.1电子级水分为四个级别；i级、ⅱ级、ⅲ级和ⅳ级。 4.2标记 i级电子级水标记为：ew-i； i级电子级水标记为；ew-ⅱ； i级电子级水标记为；ew-ⅲ； ⅳ级电子级水标记为.ew-ⅳ。 5 要求 电子级水的技术指标应符合表1的规定。 表1 电子级水的技术指标 级 别 指 标 ew-i ew-ⅱ ew-ⅲ ew-ⅳ 电阻率 mω﹒cm(25℃) 18以上 (95n时间) 不低于17 15 (95n时间) 不低于13 12.0 0.5 全硅，大值，μg/l 2 10 50 1000 >1μm微粒数，大值，个/ml 0.01 5 10 500 细菌个数，大值，个/ml 0.01 0.1 10 100 铜,大值，μg /l 0.2 1 2 500 锌，大值，ug/l 0.2 1 5 500 镍，大值．μg/l 0.1 1 2 500 钠．大值，μg /l 0.5 2 5 1000 ，大值．ug/l 0.5 2 5 500 ，大值．ug/l l l 10 1000 根，大值，ug/l 1 1 5 500 根，大值．ug/l 1 1 5 500 酸根，大值, ug/l 1 1 5 500 总有机碳，大值，ug/l 20 100 200 1000 6试验方法 6.1电阻率 电子级水的电阻率按gb/t 11446.4--1997的测试方法进行测定． 6.2全硅含量（以二氧化硅计） 电子级水全硅（以二氧化硅计）含量按gb/t 11446.6--1997的测试方法进行测定。 6.3微粒数 电子级水中微粒数按gb/t 11446.9--1997的测试方法进行测定． 6.4细菌总数 电子级水中细菌总数按gb/t 11446.10--1997的测试方法进行测定。 6.5痕量金属含量 电子级水中痕量金属的含量按gb/t 11446. 5--1997的测试方法进行测定。 6.6离子，根离子、根离子、酸根离子的含量 电子级水中离子、酸根离子、根离子、根离子等阴离子的含量按gb/t 11446.7-- 1997的测试方法进行测定． 6.7总有机碳含量 电子级水中总机碳含量按gb/t 11446.8--1997的测试方法进行测定。 7 检验规则 7.1检验部门 电子级水的检验均应在制造厂的水质检验部门进行． 7.2检验分类 电子级水的检验分为交收检验和例行检验． 7.3交收检验（抽验项目） 7.3.1电子级水技术指标中电阻率、钠离子、全硅（以二氧化硅计）为交收检验项目。 7.3.2在用水终端采样试验后检验结果如有一项不合格时，应再次采样进行检验，如仍有一项指标不 合格，应提出改进措施直到水质合格。 7.4例行检验（全检项目） 例行检验每年进行一次，当制水条件发生变更时也应进行例行检验。 7.4.1检验项目为表1规定的全部技术指标要求． 7.4.2在用水终端采样后进行例行检验，检验结果如有一项以上不合格时，应再次采样进行检验，如仍有一项以上指标不合格，应提出改进措施直到水质合格．